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技术资讯

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  • 2022-09-24

半自动MPI晶圆级探针台系统

MPI 探针台 MPI 探针台世界上第一个155毫米高频专用探针台,设计用于测量高达1.5兆赫或更高的毫米波和太赫兹晶片;
无缝集成任何高达1.5THz的差分或宽带扩展器;最大的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作;


R&S 罗德斯瓦茨 R&S 罗德斯瓦茨

● 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件,缩短测试开发时间R&S·罗德·沃茨 ●可以随时投入使用和修改以缩短测试开发时间的应用测试、项目和装置。

●业内首款内置测量视频的仪器。测试视频由全球应用工程师提供,分为4部分

语言,缩短学习周期。

●引脚与焊盘接触检查,确保测量可靠。

●多种测量功能

●数据显示、分析和代数运算


测试仪表 测试仪表

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。 作为性能最高的参数分析仪,4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。测试仪器 4200A-SCS是一种可以定制和完全集成的参数分析仪。它可以同时检查电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和超快脉冲I-V特性。 作为最高性能的参数分析仪,4200A-SCS加速了半导体、材料和工艺的发展。


低温磁场探针台 低温磁场探针台

该系统提供了一个经济的, 稳定的, 可靠的超低温和强磁场环境用于微纳器件和芯片的测试。得益于优异的振动隔离、热力学,使这套系统应用非常广泛, 横跨纳米电子学自旋电子学 , 分子电子学等。低温磁场探针台 该系统为微纳器件和芯片的测试提供了经济、稳定、可靠的超低温强磁场环境。由于出色的隔振和热力学,这个系统被广泛应用,跨越了纳米电子学、自旋电子学、分子电子学等等。


快速高低温系统 快速高低温系统

ThermalAir TA-5000系列温度强制系统将精确的热测试功能直接带到测试应用中,精确地定位在需要热调节温度循环的地方。 ThermalAir TA-5000温度系统为一系列产品和技术提供灵活的热测试解决方案。高低温系统 ThermalAir TA-5000系列温度强制系统直接将精确的热测试功能带到测试应用中,精确定位在需要热调节温度循环的地方。 ThermalAir TA-5000温度系统为一系列产品和技术提供灵活的热测试解决方案。


Vcsel光电测试系统 Vcsel光电测试系统

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上海市“专精特新”企业Vcsel光电测试系统 为您提供半自动探针台、真空探针台、磁场探针台、高低温探针台、光电探针台等相关产品
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酸/激光开封机 酸/激光开封机

RA-880激光开封机汇聚了几十年专业知识与沉淀的创新设计。设备底座由稳固的机械机构组成,所有轴全由CNC控制。酸/激光启封机 RA-880激光启封机集合数十年专业知识和创新设计。设备的底座由稳定的机械机构组成,所有轴由CNC控制。


霍尔效应测试 霍尔效应测试

• 电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
• 迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
• 载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
• 电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
霍尔效应测试 电阻率测量范围:10-4-109 cm(取决于样品)
迁移率:1-107 cm2/v·s(取决于样品)
载流子浓度:107-107。


台阶仪

• 可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯 NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂 皆有出厂测试认证报告
• 超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm、 全量程0.2um/100mm
• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯到 美国NIST和日本NRLM。产品出厂时有出厂测试认证报告
。超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm, 。


测试耗材 测试耗材

MPI公司通过引入TITAN-RC探针来扩展RF TITAN探针的系列。新的探针模型的特点是触头宽度减小了33%,减小到20μm。
TITAN™探针技术的最强功能之一是其均匀的磨损,由于独特的探头设计,其电气特性保持不变。因此,TITAN™探针的使用寿命超过了同类探针技术的使用寿命。测试耗材 MPI公司推出TITAN-RC探头,扩展射频TITAN探头系列。新探针型号的特点是接触宽度减少了33%,为20 μm m。
Titan探针技术最强的功能之一是均匀磨损,由于独特的探针设计,其电气特性保持不变。因此,TITAN探头的使用寿命超过了类似的探头技术。


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TS2000 Probe Systems

MPI TS2000的专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容,主要设计用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。
优势:
适用于多种量产型晶圆量测应用
• 模块量测 :DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 射频量测 :至高 110 GHz
• 高功率量产测试 : 至高 10 kV / 600 A
• 开放式温区:25°C至 300 °C
• 内置被动式防震系统
• 可乘载达 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具TS2000的特殊设计可以满足先进半导体测试市场的需求。该系统完全兼容MPI系统的所有附件,主要用于解决MEMS、大功率、RF和mmW器件的失效分析、设计验证、IC工程、圆片级可靠性和测试等特殊需求。
优点:
适用于各种量产晶圆测量应用
模块测量:DC-IV/DC-CV/脉冲-IV
射频测量:600A
开放温度范围:25°C至300°C
内置无源防振系统
可搭载


超大工作台 TS2000系列提供了一个易于使用的大型探头支架放置工作台,可容纳多达12套DC或4套射频微定位器。

集成负载牵引调谐器或更大面积的微型定位器使TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。

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快速晶圆装载 宽前门通道,可轻松装卸100 mm、150 mm、200mm晶圆,快速更换微小器件。

两个陶瓷射频校准辅助卡盘位于前端,可轻松装卸。

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集成硬件控制面板 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中,是基于数十年的经验和客户互动而设计的。隐藏的键盘和鼠标增加了整体美感。

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温度控制系统 方便的触摸屏可以操作热卡盘(从20°C或环境温度到最高300°C ),并实时显示卡盘的温度。触摸屏位于操作者前方方便的位置,实现快速操作和即时反馈。

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多达12套DC或4套DC和4套射频微定位器,以及4.5英寸标准探针卡夹具,使该系统成为设计验证和/或故障分析的理想选择。

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TS2000-D是集成了暗盒的TS2000。

该系统专为屏蔽光、电磁、嵌入式联锁、LED照明、标准化接口面板等各种敏感设备而设计,是测试光、激光防护环境的首选。

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仪器集成 可选的仪器架可以缩短电缆长度,改善射频和毫米波应用中的测量动态和方向性。

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软件SENTIO MPI自动工程探针系统由独特的革命性多触点软件套件控制。简单直观的操作节省了大量的培训时间。滚动、缩放和移动命令模仿现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。

集成射频应用系统,无需切换到另一个软件平台。MPI射频校准软件程序QAlibria与SENTIO完全集成,遵循单一操作概念方法,易于使用。

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隔振系统 TS2000结合了两种类型的隔振解决方案,总占地面积小,可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。

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上海市松江区广富林东路199号蒂奇漕河泾三期13号楼2层

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