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技术资讯

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  • 2022-09-10

MPI手动晶圆级探针台系统(微屏蔽)

R&S 罗德斯瓦茨 R&S 罗德斯瓦茨 ●可随时投入使用和修改的应用测试、项目和装置,以缩短测试开发时间。

●业内首款内置测量视频的仪器。测试视频由全球应用工程师提供,分为4部分

语言,缩短学习周期。

●引脚与焊盘接触检查,确保测量可靠。

●多种测量功能

●数据显示、分析和代数运算


测试仪表 测试仪表

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。 作为性能最高的参数分析仪,4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。测试仪器 4200A-SCS是一种可以定制和完全集成的参数分析仪。它可以同时检查电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和超快脉冲I-V特性。 作为最高性能的参数分析仪,4200A-SCS加速了半导体、材料和工艺的发展。


低温磁场探针台 低温磁场探针台

该系统提供了一个经济的, 稳定的, 可靠的超低温和强磁场环境用于微纳器件和芯片的测试。得益于优异的振动隔离、热力学,使这套系统应用非常广泛, 横跨纳米电子学自旋电子学 , 分子电子学等。低温磁场探针台 该系统为微纳器件和芯片的测试提供了经济、稳定、可靠的超低温强磁场环境。由于出色的隔振和热力学,这个系统被广泛应用,跨越了纳米电子学、自旋电子学、分子电子学等等。


快速高低温系统 快速高低温系统

ThermalAir TA-5000系列温度强制系统将精确的热测试功能直接带到测试应用中,精确地定位在需要热调节温度循环的地方。 ThermalAir TA-5000温度系统为一系列产品和技术提供灵活的热测试解决方案。高低温系统 ThermalAir TA-5000系列温度强制系统直接将精确的热测试功能带到测试应用中,精确定位在需要热调节温度循环的地方。 ThermalAir TA-5000温度系统为一系列产品和技术提供灵活的热测试解决方案。


Vcsel光电测试系统 Vcsel光电测试系统

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上海市“专精特新”企业Vcsel光电测试系统 为您提供半自动探针台、真空探针台、磁场探针台、高低温探针台、光电探针台等相关产品
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酸/激光开封机 酸/激光开封机

RA-880激光开封机汇聚了几十年专业知识与沉淀的创新设计。设备底座由稳固的机械机构组成,所有轴全由CNC控制。酸/激光启封机 RA-880激光启封机集合数十年专业知识和创新设计。设备的底座由稳定的机械机构组成,所有轴由CNC控制。


霍尔效应测试 霍尔效应测试

• 电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
• 迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
• 载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
• 电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
霍尔效应测试 电阻率测量范围:10-4-109 cm(取决于样品)
迁移率:1-107 cm2/v·s(取决于样品)
载流子浓度:107-107。


台阶仪

• 可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯 NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂 皆有出厂测试认证报告
• 超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm、 全量程0.2um/100mm
• 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯到 美国NIST和日本NRLM。产品出厂时有出厂测试认证报告
。超高垂直直线度精度保证:局部0.005um/5mm, 。


测试耗材 测试耗材

MPI公司通过引入TITAN-RC探针来扩展RF TITAN探针的系列。新的探针模型的特点是触头宽度减小了33%,减小到20μm。
TITAN™探针技术的最强功能之一是其均匀的磨损,由于独特的探头设计,其电气特性保持不变。因此,TITAN™探针的使用寿命超过了同类探针技术的使用寿命。测试耗材 MPI公司推出TITAN-RC探头,扩展射频TITAN探头系列。新探针型号的特点是接触宽度减少了33%,为20 μm m。
Titan探针技术最强的功能之一是均匀磨损,由于独特的探针设计,其电气特性保持不变。因此,TITAN探头的使用寿命超过了类似的探头技术。


磁场产品 磁场产品

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Celadon探卡 Celadon探卡

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Hanwa产品 Hanwa产品

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HPPI HPPI

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新闻中心 新闻中心

全球半导体领域、微纳米科学领域前沿资讯一览
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TS200-SE Probe System

MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)8英寸探针台可提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪声,低泄漏测量功能。
适用于多种晶圆量测应用,
• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安级低漏电量量测
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C
MPI 200-Shield Environment(ts 200-SE)8英寸探针台可提供先进的EMI/RFI/不透明屏蔽、超低噪声和低泄漏测量。
适用于各种晶圆测量应用,
如元器件表征和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性(WLR)和失效分析(FA)
MPI Shield环境屏蔽环境
专为EMI/RFI/不透光屏蔽而设计的精密测量环境。 支持Feian低泄漏测量
温度测量范围-60°C至300°C


大图 TS200-SE Probe System细节优势

MPI TS200-SE手动探针测试系统具有很强的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。MPI 200-SE手动探针测试系统功能强大。高重复性(1米)压板提升设计,具有三个独立位置,用于安全、接触、分离(300米)和装载(3毫米)。这些功能可以防止意外的探针或晶片损坏,同时提供直观的控制、精确的触点定位和安全设置。额外的探头悬停控制具有悬停高度(50、100或150米),可轻松方便地将探头与卡盘对齐。


大图 TS200-SE Probe System细节优势

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屏蔽环境 MPI屏蔽环境是一个高性能的屏蔽系统,可以为超低噪声、低电容测量提供优良的EMI和不透明屏蔽测试环境。

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Shield MPI Shield环境的一个完全可配置的部分,它允许多个组合测试,例如多达4个端口的RF或多达8个端口的DC/开尔文测试。

MPI ShielDCap很容易屏蔽,很容易和多种混装。对于简化日常操作有着重要的作用。

整个屏蔽罩可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。

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空空气轴承 MPI独特的气垫载物台设计,简单的单手puck控制,为快速XY导航和晶圆装载提供了便利。同时拥有25x25mm的额外精密XY-Theta千分尺机芯,不影响精准定位能力。

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独特的卡盘z调整 TS200-SE除空空气轴承XY工作台外,还包括5mm z卡盘调整(m分辨率),可实现精确的接触/超程控制或探针卡滴尖校正。

1毫米刻度指示器为操作员提供简单的反馈。此外,20毫米气动升降提供了简单快捷的升降功能。

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多种卡盘选项 TS200-SE可以提供多种卡盘选项,以满足不同的预算和应用要求:同轴、三轴或射频、高功率等。射频卡盘独特地提供了两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准;-从60c到300 C的各种ERS空气冷却卡盘

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集成温度控制的 晶圆装载门可在低于15°c的任何温度下锁定。这一独特功能使ts 200-阿瑟成为市场上安全的手动探针台。

此外,温控系统可以通过集成触摸屏进行操作,触摸屏放置在操作者面前方便的位置,实现快速、可操作和即时反馈。

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ERS独有的MPI下的AC3冷却技术 探针站系统采用了ERS的AC3冷却技术及其空气体管理系统,可以直接从用过的空气体中去除MPI屏蔽环境,减少干空气体的消耗高达30%至50%。

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多种光学选项 MPI光学系统可从单筒显微镜MPI SuperZoom SZ10、光学变焦高达12倍的MegaZoom MZ12或工作距离超过42毫米的EeyZoom EZ10中选择。它具有10倍光学变焦系统,具有符合人体工程学的20倍目镜,90毫米的工作距离和低至2um或更低的光学分辨率。

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独特的升级路径 MPI下的所有系列探针台系统均采用模块化设计,打造了独特的升级路径。所有TS200-SE检测附件,如热卡盘、显微镜和定位器,都可以升级或重新配置,以满足涵盖工具寿命的各种应用要求,从而降低拥有成本。

具有屏蔽环境的MPI TS200-SE探针系统可以提供EMI屏蔽并允许低噪声器件片上测量,因此可以广泛用于各种应用,例如器件表征和建模、RF/微波、晶片级可靠性、失效分析、设计验证和高功率。

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